對(duì)于耐腐蝕限位開(kāi)關(guān)而言，微動(dòng)開(kāi)關(guān)驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)是直接關(guān)系到密封性能和操作特性的重要部件。其結(jié)構(gòu)分為三類(lèi)。

　　(1)活塞式耐腐蝕限位開(kāi)關(guān)

　　根據(jù)密封方式的不同，表中有A型和B型兩種。A型采用O型圈或薄膜密封。由于密封膠不外露，因此更能抵抗工作機(jī)械的切屑。但是，它的負(fù)面影響是可能會(huì)將沙子、切屑等壓入活塞中?；瑒?dòng)面。B型雖然不會(huì)壓砂、切屑等，密封性能比A型好，但可能會(huì)因熱切屑飛濺而損壞膠帽。因此，需要根據(jù)使用場(chǎng)所的不同選擇A型或B型。柱塞式仍然通過(guò)柱塞的往復(fù)運(yùn)動(dòng)來(lái)壓縮或吸入空氣。為此，如果長(zhǎng)時(shí)間壓入柱塞，限位開(kāi)關(guān)內(nèi)的壓縮空氣就會(huì)逸出，內(nèi)部壓力與大氣壓相同。即使柱塞急切復(fù)位，柱塞也有緩慢復(fù)位的趨勢(shì)。為了避免這種故障的發(fā)生，在設(shè)計(jì)中，根據(jù)柱塞的壓力，將空氣壓縮量控制在限位開(kāi)關(guān)內(nèi)總風(fēng)量的20%以內(nèi)。此外，為了延長(zhǎng)微動(dòng)開(kāi)關(guān)的使用壽命，該結(jié)構(gòu)內(nèi)部安裝了OT吸收機(jī)構(gòu)。OT吸收機(jī)構(gòu)使用OT吸收彈簧來(lái)吸收剩余的柱塞行程。相對(duì)于柱塞運(yùn)動(dòng)的機(jī)構(gòu)停止按壓中間的微動(dòng)開(kāi)關(guān)以輔助柱塞的行程。

　　(2)鉸接擺桿式

　　在擺桿（球）的末端，柱塞的行程按擺桿的比例放大。因此，一般不使用OT吸收機(jī)制。

　　(3)旋轉(zhuǎn)擺桿式耐腐蝕限位開(kāi)關(guān)

　　但除此之外，還有兩種類(lèi)型：一種是將柱塞復(fù)位功能分配給柱塞的類(lèi)型；螺旋彈簧獲得恢復(fù)力并通過(guò)凸輪驅(qū)動(dòng)輔助柱塞的類(lèi)型。